标签：半导体制造
EUV光刻，新里程碑
在半导体行业即将迎来High NA EUV光刻技术的新时代之际，imec的高级副总裁Steven Scheer深入讨论了ASML-imec联合高NA EUV光刻实验室对行业的深远影响。位于荷...
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